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激光干涉仪的类型有哪些?
您知道激光干涉仪的类型有哪些吗?
1、单频激光干涉仪
从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。
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球杆仪是由一根轴向可伸缩的杆和两个安装在磁性球座上的的金属球(球度误差小于0.05μm)组成。两个球通过内装强力磁铁的磁性球座分别与工作台和主轴端部相联。球与磁性球座之间是三点接触,保证灵活转动。可伸缩杆上安装着可记录伸长量的位移测量装置用于测量沿连杆方向的长度变化。
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